工作特性
常用輸出量與輸入量，或一個輸出量與另一個輸出量之間的關系來表示。從控制要求來說，靜態特性曲線應連續、光滑，沒有突變；動態特性常用頻率曲線或響應曲線來表示。頻率曲線應平穩，無突跳振蕩點；響應曲線應快速收斂。
靈敏度
對應于單位輸入信號的輸出量的大小。一般常用比力矩、比電動勢、放大系數等表示。
精度
一定輸入條件下，輸出信號的實際值與理論值的差值代表微電機的精度，常用誤差大小表示。
阻抗或電阻
在系統中，微電機的輸入、輸出阻抗應分別與相應電路匹配，保證系統的運行性能及精度。
可靠性
不僅是控制用微電機的特殊要求，驅動微電機和電源微電機也有此要求。常用使用壽命、失效率、可靠度和平均無故障時間等參數表征微電機的運行可靠